中國臺(tái)灣博亞特密封技術(shù)開發(fā)有限公司
進(jìn)口全氟橡膠O型圈（FFKM）類似聚四氟乙烯（PTFE）材料，全氟橡膠具有優(yōu)異耐化學(xué)性和耐高溫性。普通全氟橡膠O型圈工作溫度為-250℃~240℃,特殊全氟橡膠O型圈溫度可達(dá)320℃。
優(yōu)點(diǎn)：耐熱性*，優(yōu)異的抗化學(xué)特性；缺點(diǎn)：耐低溫較差，原料價(jià)格偏高，生產(chǎn)難度比較大。全氟橡膠O型圈廣泛地運(yùn)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及信息相關(guān)產(chǎn)業(yè)所運(yùn)用, 運(yùn)用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。
進(jìn)口全氟橡膠O型圈的溝槽設(shè)計(jì)
1、O型圈的壓縮變形量
全氟O型圈的使用經(jīng)驗(yàn)表明，安裝后*壓縮量為12%-18%，有利于延長密封壽命。過大的壓縮變形可能導(dǎo)致O型圈破裂、擠出、特別是當(dāng)O型圈在高溫環(huán)境中工作時(shí)，此時(shí)的熱膨脹是主要考慮因素。
當(dāng)O型圈的工作溫度低于0℃的時(shí)候，應(yīng)該使用特別的壓縮量，此時(shí)安裝后*壓縮量為15%-21%。當(dāng)O型圈處于循環(huán)溫度環(huán)境，（從低溫到高溫》149℃）中時(shí)，高壓縮量存在著潛在的風(fēng)險(xiǎn)，必須在兩者之間有一個(gè)平衡。
2、O型圈的拉伸
為了獲得適當(dāng)?shù)拿芊庑阅芗囱娱L密封壽命，安裝時(shí)拉伸1%-3%是比較適當(dāng)?shù)模瑉ui大可到5%。拉伸量過小可能會(huì)導(dǎo)致O型圈安裝不穩(wěn)，過大則可能會(huì)導(dǎo)致O型圈斷裂或承受較高的內(nèi)部應(yīng)力（Gow-Joule效應(yīng)）而導(dǎo)致過早失效。
3、熱膨脹
在25-250℃的溫度范圍內(nèi)，全氟橡膠線膨脹系數(shù)是3.2*10-4℃-1。轉(zhuǎn)化成體積熱膨脹后全氟橡膠大體上比氟橡膠大75%。當(dāng)在高溫環(huán)境中應(yīng)用時(shí)，就必須考慮這個(gè)膨脹因素，否則將導(dǎo)致密封件過早的失效。
當(dāng)設(shè)計(jì)一個(gè)密封系統(tǒng)時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)的溝槽設(shè)計(jì)時(shí)設(shè)計(jì)的起點(diǎn)。在多數(shù)情況下，溝槽空間或許對(duì)全氟O型圈來說是充分的，然而當(dāng)遇到高溫工況時(shí)，溝槽體積就可能會(huì)滿足不了O型圈的膨脹，此時(shí)O型圈會(huì)從溝槽間隙擠出，或沿著圓周方向?qū)⒚芊饧_（多數(shù)情況下是延分模面裂開）。在遇到這兩種情況時(shí)，就要考慮增加溝槽體積來適應(yīng)O型圈熱膨脹效應(yīng)。
的安裝
1、潤滑
彈性體密封安裝過程中，通過使用潤滑油脂可以減小磨損和卡咬。一般來說，薄薄的潤滑膜對(duì)于安裝O型圈來說是必須的，因?yàn)槿芊饧糜趷毫庸r中，潤滑油能夠提高密封件的耐高溫碳化破裂能力。在多數(shù)情況下，使用被密封的介質(zhì)當(dāng)做潤滑油、氟化油，例如：粉末狀石墨也可以用作潤滑油。即使使用了潤滑油，密封件的安裝過程也要注意減少對(duì)O型圈的損傷。
2、拉伸
大多數(shù)全氟橡膠的扯斷伸長率在120%-170%。當(dāng)安裝O型圈的時(shí)候，必須注意伸長率這個(gè)數(shù)據(jù)，防止超出扯斷伸長率而導(dǎo)致O型圈斷裂。一般來說，安裝O型圈的拉伸程度應(yīng)控制扯斷伸長率的50%以內(nèi)，如果遇到很難安裝的狀況時(shí)，應(yīng)先將O型圈置于熱水中軟化，正確的安裝方法可以避免密封件的損傷。
